เป้าหมายโมลิบดีนัมเป็นเป้าหมายโลหะพิเศษที่ทำจากโมลิบดีนัม ซึ่งส่วนใหญ่ใช้ในสาขาเทคโนโลยีขั้นสูง โมลิบดีนัม ซึ่งเป็นโลหะสีขาวเงิน ขึ้นชื่อในเรื่องจุดหลอมเหลวสูงและการนำไฟฟ้าและความร้อนที่ดี ซึ่งช่วยให้คงความเสถียรในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงหรือแรงดันสูง ดังนั้น เป้าหมายของโมลิบดีนัมจึงมีบทบาทสำคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เทคโนโลยีการสะสมฟิล์มบาง อุตสาหกรรมไฟฟ้าโซลาร์เซลล์ และอุปกรณ์ถ่ายภาพทางการแพทย์ เป้าหมายโมลิบดีนัมสามารถผลิตได้โดยการกดไอโซสแตติกแบบร้อน (HIP), การถลุง, การสะสมไอสารเคมี (CVD) และการสะสมไอทางกายภาพ (PVD) แต่ละวิธีมีลักษณะและขอบเขตการใช้งานของตัวเอง เลือกเทคโนโลยีการเตรียมการที่เหมาะสม ขึ้นอยู่กับการใช้งานขั้นสุดท้ายของเป้าหมายโมลิบดีนัมที่ต้องการ ประสิทธิภาพที่ต้องการ และการพิจารณาทางเศรษฐกิจ
แผ่นรองพื้นทองแดงไม่เพียงแต่ปรับปรุงประสิทธิภาพเป้าหมายเท่านั้น แต่ยังช่วยลดต้นทุนการดำเนินงาน ซึ่งเป็นสิ่งสำคัญอย่างยิ่งสำหรับอุตสาหกรรมที่ต้องอาศัยกระบวนการสะสมฟิล์มบางที่มีความเสถียรในระยะยาว มันมีประโยชน์ดังต่อไปนี้:
1. ปรับปรุงประสิทธิภาพการนำความร้อน: ทองแดงมีค่าการนำความร้อนสูงมาก (ประมาณ 400 W/m·K) ซึ่งสูงกว่าโมลิบดีนัมมาก การเชื่อมเป้าหมายโมลิบดีนัมเข้ากับแผ่นรองทองแดงสามารถปรับปรุงประสิทธิภาพการนำความร้อนโดยรวมของเป้าหมายได้อย่างมาก ในระหว่างกระบวนการเคลือบด้วยความเร็วสูง สิ่งนี้จะช่วยนำความร้อนออกจากเป้าหมายโมลิบดีนัมได้รวดเร็วยิ่งขึ้น จึงช่วยป้องกันไม่ให้เป้าหมายเกิดความร้อนสูงเกินไป
2. ลดความเครียดจากความร้อน: ในระหว่างกระบวนการสะสม ความเครียดจากความร้อนบนวัสดุเป้าหมายอาจทำให้เกิดรอยแตกร้าวและแตกหักได้ ค่าการนำความร้อนสูงของแผ่นรองหลังทองแดงช่วยกระจายความร้อนอย่างสม่ำเสมอ และลดความเข้มข้นของความเครียดจากความร้อนบนเป้าหมายโมลิบดีนัม จึงช่วยลดความเสียหายที่เกิดจากความร้อน
3. ยืดอายุการใช้งาน: ด้วยการลดความเครียดจากความร้อนและปรับปรุงประสิทธิภาพเชิงความร้อน แผ่นหลังทองแดงสามารถยืดอายุการใช้งานของเป้าหมายโมลิบดีนัมได้อย่างมาก การรวมกันนี้ช่วยป้องกันการสึกหรอหรือความเสียหายของเป้าหมายก่อนเวลาอันควรระหว่างการใช้งาน ส่งผลให้มีการเปลี่ยนน้อยลงและลดต้นทุนในระยะยาว
4. ปรับปรุงเสถียรภาพทางกล: การเพิ่มแผ่นรองทองแดงยังช่วยเพิ่มเสถียรภาพทางกลโดยรวมของชิ้นงานอีกด้วย สิ่งนี้สำคัญอย่างยิ่งในระหว่างกระบวนการสะสมด้วยความเร็วสูง เนื่องจากช่วยรักษาความสมบูรณ์ของโครงสร้างของเป้าหมาย และลดความเสียหายเนื่องจากการกระแทกทางกลหรือการสั่นสะเทือน
5. ความสามารถในการปรับตัวที่แข็งแกร่ง: วิธีการผูกนี้สามารถปรับความหนาและรูปร่างของแบ็คเพลนทองแดงได้ตามความต้องการใช้งานที่แตกต่างกัน ทำให้มีความยืดหยุ่นและปรับตัวได้มากขึ้น ซึ่งช่วยให้เป้าหมายโมลิบดีนัมสามารถตอบสนองความต้องการของอุปกรณ์และกระบวนการสะสมเฉพาะได้ดียิ่งขึ้น
