1. ความบริสุทธิ์
ความบริสุทธิ์ของชิ้นงานไทเทเนียมมีอิทธิพลอย่างมากต่อคุณสมบัติของฟิล์มสปัตเตอร์ ยิ่งความบริสุทธิ์ของชิ้นงานสูง อนุภาคขององค์ประกอบที่ไม่บริสุทธิ์ในฟิล์มสปัตเตอร์ก็จะน้อยลง และประสิทธิภาพของฟิล์มก็จะดีขึ้น (เช่น ความต้านทานการกัดกร่อน คุณสมบัติทางแสงและทางไฟฟ้า) ในการใช้งานจริง ข้อกำหนดด้านความบริสุทธิ์ของเป้าหมายไทเทเนียมสำหรับวัตถุประสงค์ที่แตกต่างกันจะแตกต่างกัน . ตัวอย่างเช่น ความต้องการความบริสุทธิ์ของเป้าหมายสำหรับการเคลือบตกแต่งทั่วไปนั้นไม่ต้องการ ในขณะที่เป้าหมายสำหรับวงจรรวม ตัวจอแสดงผล และสาขาอื่นๆ มีความต้องการความบริสุทธิ์ที่สูงกว่ามาก โดยทั่วไปแล้วจะอยู่ที่ประมาณ 99.999 เปอร์เซ็นต์หรือสูงกว่า
2. ขนาดเกรนเฉลี่ย
โดยปกติแล้วเป้าหมายไทเทเนียมจะมีโครงสร้างโพลีคริสตัลไลน์ และขนาดเกรนอาจมีตั้งแต่ไมครอนไปจนถึงมิลลิเมตร อัตราการสปัตเตอร์ของชิ้นงานที่มีเกรนละเอียดจะเร็วกว่าของชิ้นงานที่มีเกรนหยาบ การกระจายความหนาของฟิล์มที่สเปรย์สะสมอยู่ค่อนข้างสม่ำเสมอเช่นกัน โดยทั่วไปขนาดเกรนเฉลี่ยของเป้าหมายไทเทเนียมสำหรับวงจรรวมจะต้องอยู่ภายใน 30 μm และขนาดเกรนเฉลี่ยของเป้าหมายไทเทเนียมที่มีเกรนละเอียดพิเศษนั้นต่ำกว่า 10 μm
3. การวางแนวคริสตัล
ไทเทเนียมมีโครงสร้างหกเหลี่ยมที่อัดแน่น ในระหว่างการสปัตเตอร์ อะตอมเป้าหมายของไทเทเนียมจะถูกสปัตเตอร์อย่างง่ายดายตามทิศทางของการจัดเรียงอะตอมหกเหลี่ยม ดังนั้นเพื่อให้ได้อัตราการสปัตเตอร์สูงสุด จึงเป็นไปได้ที่จะเพิ่มอัตราการสปัตเตอร์โดยการเปลี่ยนโครงสร้างผลึกของเป้าหมาย อัตราการสปัตเตอร์ ทิศทางการตกผลึกของเป้าหมายไทเทเนียมยังมีอิทธิพลอย่างมากต่อความสม่ำเสมอของความหนาของชั้นฟิล์มสปัตเตอร์ และขนาดฟิล์มของจอแสดงผลแบบแบนและการเคลือบตกแต่งค่อนข้างหนา ดังนั้นข้อกำหนดสำหรับการวางแนวเกรนของเป้าหมายไทเทเนียมที่สอดคล้องกันคือ ค่อนข้างต่ำ
4. รูปทรงและขนาด
ส่วนใหญ่จะสะท้อนให้เห็นในความแม่นยำในการประมวลผลและคุณภาพการประมวลผล เช่น ขนาดการประมวลผล ความเรียบของพื้นผิว ความหยาบ ฯลฯ ความหนาเล็กน้อยจะส่งผลต่ออายุการใช้งานของเป้าหมาย พื้นผิวการซีลที่หยาบเกินไปและร่องการซีลจะทำให้เกิดปัญหาสุญญากาศหลังจากติดตั้งชิ้นงานแล้ว การทำให้พื้นผิวสปัตเตอร์ขรุขระของเป้าหมายสามารถทำให้พื้นผิวของเป้าหมายเต็มไปด้วยปลายที่ยื่นออกมา ภายใต้การกระทำของเอฟเฟกต์ทิป ศักยภาพของปลายที่ยกขึ้นเหล่านี้จะเพิ่มขึ้นอย่างมาก จึงทำลายการปล่อยอิเล็กทริก อย่างไรก็ตาม ส่วนที่ยื่นออกมาใหญ่เกินไปจะส่งผลเสียต่อคุณภาพและความเสถียรของการสปัตเตอร์
บริษัทของเราสามารถจัดหาโลหะผสมไทเทเนียมเช่นเป้าหมายสปัตเตอร์อลูมิเนียมไทเทเนียมและเป้าหมายสปัตเตอร์ไทเทเนียม Tiตลอดจนเป้าหมายไทเทเนียมที่มีความบริสุทธิ์และรูปร่างต่างกัน และยังยอมรับบริการที่ปรับแต่งเองอีกด้วย หากจำเป็นโปรดติดต่อเราทางอีเมล
